这项成都技术 实现新型显示产业关键材料国产替代当您拿起手机或者平板电脑，又或者打开电视，畅快观影的时候，可曾想过这色彩斑斓的影像是怎么来的？答案就在一块特殊的石英玻璃——掩膜版身上，它是新型显示产业不可或缺的关键原材料。

　　在成都，有这样一家科创企业，一举打破国外厂商在该领域的垄断，实现掩膜版国产化。8月18日，记者走进成都路维光电有限公司，一探这项打破国外垄断的“成都技术”。

　　在高新西区的路维光电办公大楼，竖立着一块巨大的玻璃。它高1.62米、宽1.78米，数百万元的身价，彰显其特殊身份——中国自主研发的首片G11高世代显示面板用掩膜版。

　　2019年1月23日，G11掩膜版的成功下线，大幅提高了高世代掩膜版的交货率，打破国外企业在同类产品的垄断。国外企业同类产品在中国的报价，从一张近千万元，直降50%以上。

　　中国新型显示产业以及半导体行业，步入以国内产业链供应为主的新阶段，发展速度倍增。数据显示，2023年全球新型显示行业全产业链营业收入为1876亿美元，中国占比近50%。其中显示面板营业收入1045亿美元，中国占比55%。

　　亮眼数据的背后，有成都技术的支撑。“我们是国内首家、世界第四家掌握G11掩膜版生产技术的企业，也是国内唯一一家可覆盖G2.5-G11全世代产线的本土掩膜版企业，可配套下游平板显示厂商所有世代产线。”路维光电集团研发总监兼研发中心主任司继伟介绍，同时该企业也是国内第一家突破G11高世代掩膜版光阻涂布技术，第一家实现高精度半色调（HTM）掩膜版、灰阶掩膜版（GTM）生产的企业。

　　没有“底片”，胶片相机将无法冲洗照片，掩膜版的具体功用，就像“底片”，是微电子制造过程中的图形转移工具或母版，属光刻工艺中的关键材料。司继伟介绍，掩膜版广泛应用于平板显示、半导体IC、触摸屏等诸多行业，且不可或缺。“每年全球掩膜版产业产值不过50亿美元左右，撬动的却是下游万亿级别的产业。”

　　要洞察掩膜版的奥妙，需要将它对着光源凑近了细看。区别于普通玻璃，掩膜版表面有一道道细微的“条纹”，组成各种各样的微观电子线路图形。数块掩膜版叠合使用，就构成一套复杂的微电子线路图，平板显示等厂商就可据此源源不断地生产出电子数码产品。

　　将“条纹”刻画在石英玻璃上的，是激光束或电子束，刻画图形的计量单位是微米和纳米。“条纹”刻画的精度高低、刻画的尺寸大小，是考量掩膜版生产工艺的重要指标。“同样精细的工笔画，画在墙面大小的纸张上，自然比画在一张A4纸上难太多了。”司继伟举例说。这也是那块近3平方米的G11高世代显示面板用掩膜版，能站在全球掩膜版生产技术之巅的原因所在。G11高世代显示面板用掩膜版的成功下线，进一步加速了终端大屏显示技术的普及，使之走向千家万户，我国掩膜版行业正式迈入国际先进行列。

　　在成都路维光电总建面50000平方米的建筑群中，有近30000平方米是各种掩膜版的“产房”。这其中，有5000平方米是洁净度达10级的“洁净厂房”。所有进出厂房的物料及工作人员，需经2级到3级的风淋除尘，确保不带入一粒细小的灰尘。

　　因为掩膜版的生产工艺达到纳米级，一粒肉眼都看不见的灰尘，对生产带来的安全隐患都是极大的。在这里，巨大的机械臂自动抓取玻璃基板送入智能生产线余位被“无尘服”包裹得严严实实的工作人员全程值守。

　　1997年bd半岛·体育官网，路维光电在深圳成立，2017年落子成都。2018年3月动工的高世代掩膜版生产基地，仅用了10个月时间便实现首片产品下线。“成都对高科技产业的支持力度以及相关产业链的整体布局超前思维，我们是感同身受的。”路维光电董事、执行总裁、董事会秘书肖青介绍，生产基地所在的成都电子信息产业功能区内，京东方、深天马等与成都路维光电深度合作的企业就在近旁。

　　站在路维光电办公楼窗前，就能看到数百米开外在建的京东方投建的国内首条第8.6代AMOLED生产线。待其建成，将成为全球技术最先进、产能最大的中尺寸OLED显示器件生产基地。在这里，产业链上下游、左右岸的科创企业“扎堆”，产能的持续提档升级，让成都路维光电等已手握核心技术的微电子行业企业，未来的发展拥有更多可能。